题的话，我们就先休息两天了.”

李康民拉住了王多鱼，非要让后者留下来。

既然犟不过对方，王多鱼只好同意下来。

因为他也知道，这个时候的李康民他们肯定是没办法睡得着觉的，除非他亲自检验过他们研制出来的浸没式光刻机，否则的话，绝对不行。

于是，接下来王多鱼也按照流程，跟他们一起穿戴好防护服，然后进入了无尘车间。

是的，光刻机可不是在普通实验室就进行试验的，只能够在无尘车间才行。

任何一丁点可能的灰尘，都有可能导致意外。

所以细节决定成败，这话可不是说说而已。

随着走进无尘车间，王多鱼终于见到了所谓的浸没式光刻机。

整个车间内，看似杂乱无章，实际上井然有序得很。

就好像，很多人看到他王多鱼写的数学论文，东一榔头西一榔头，完全没有任何顺序可言，但在王多鱼自己看来，那就是最好的顺序了。

“王教授你看，我们现在采用的是最新的光刻机光学系统，在于系统数值孔径的增大，提升了步进扫描式光刻机的成像分辨能力.”

“现在我们这一款浸没式步进扫描光刻机，可以满足85纳米以下成像分辨率的工艺要求”

听到李康民的汇报，王多鱼的表情满是笑容。

他能够理解对方语气中的激动和欣喜，因为他在一年半之前指导过对方关于浸没式光刻机的技术，而现如今，李康民他们这支技术团队已经将他吹过的牛逼，一一实现了。

李康民他们研制出来的浸没式步进扫描光刻机，让中国实现了纳米级别的光刻机技术，完全处在了国际领先水平。

要知道，现如今的全球光刻机市场，仅仅只是亚微米级别，也就是195纳米这样的技术水平。

亚微米的区间范围就是100纳米到1000纳米之间，1000纳米就是1微米。

纳米级别就是小于100纳米。

怎么说呢，李康民他们是真的牛逼。

尽管只是85纳米这个级数，距离45纳米、20纳米、10纳米，甚至是个位数纳米，依然还有很大的进步空间。

但那也是国际领先水平啊。

一个字：牛逼！

“好好好，真不错，老李，你们辛苦了！”

等他们彻底测试完毕之后，王多鱼顿时大喜地说道。

“这样的技术，你们制造芯片的成品率是多少有没有到百分之七十”

此话一出，李康民他们的脸上，顿时没了笑容，甚至脸上还带着羞愧与不安，因为成品率不到百分之二十。

技术是很牛逼，但因为不够成熟，所以成品率很低。

光刻机制造芯片的时候，并不是一枚一枚芯片来制造的，而是在一块晶圆上面进行制造。

整个流程就是先选用单晶硅晶圆，经过化学清洗与平坦度测试，合格之后才可以使用。

紧接着是在晶圆表面旋涂光致抗蚀剂，通过旋转与固化使其均匀涂布晶圆表面，然后是将设计图样加载到光刻机的曝光机中，通过光刻机的重复曝光将图样投影在晶圆上。

后续步骤是显影、腐蚀、氧化等步骤，最后才到半导体装配。

所谓的半导体装配，其实就是将晶圆划分为多个芯片，测试合格之后进行装配封装。

而这个时候的晶圆，并不是每一个芯片都是同样的产品。

按照李康民他们的说辞，百分之二十的成品率，也就是说，使用浸没式步进扫描光刻机制造生产出来的一片晶圆，其上只有百分之二十左右的纳米级别芯片。

根据晶圆尺寸的不同，以及芯片面积大小的不同，一片晶圆大概能够制造出两百到五百个芯片。

假设一片晶圆能够生产出两百个芯片，那么百分之二十的成品率，那就是四十个芯片。

还有其他一百六十个芯片，有些应该是亚微米级别芯片，也有部分是完全不能够使用的废芯片。

王多鱼听完之后，沉默半晌，道：

“没事，百分之二十就百分之二十，我们也是世界领先水平，你们就是最牛逼的”

“这样，你们先好好休息，等休息好之后，我们再重新调整技术，提高这个成品率.”

李康民、姚文荣等人备受鼓舞，