发是要靠磁场精准偏转电子束打到靶材上进行加热的,先不说高能电子束的来源问题,这个磁场怎么来都是一个问题,永磁体就不用想了,电磁场,以现在的条件来说也是个问题。 反倒是技术落后的电阻加热,在现在是更加可行的,每一项技术的存在,总是有它的理由的。 反正现在这个也不是什么要求很高的制程,所以整个集成电路工艺在高振东看起来虽然充满了凑合、将就的意思,但是在这个阶段,差不多就是最合适的了。 不过,1274厂的两位,明显不觉得这套工艺是凑合或者将就。 还有一章