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直到九月四日,碳化硅项目完成了扩散掺杂和电极蒸镀,准备开始封装初试。
氮化镓也完成了光刻图形化,准备开始干法刻蚀时,戴安娜的二姐夫费洛斯勋爵在实验室外等了三个多小时,总算见到了曲卓。
干嘛?
据说!伊丽莎白老太太在与女儿安妮公主闲聊时,听说了来自东方的曲,在剑桥游学期间,为科学技术的发展做出了卓越贡献,继而生出了浓厚的兴趣。
仔细了解过曲的种种事迹,为表彰其无私豁达的品质与无与伦比的敬业精神,邀请他周六去白金汉宫做客,并共进晚餐。
曲卓知道窝子既然已经打好,就一定能钓到大鱼。
但没想到,咬钩的居然是……好大一条鱼!
非常淡定的接受了邀请,随即回到实验室继续忙碌。
九月五日下午,碳化硅芯片陶瓷管壳打金线绑定完成……
九月六日中午,使用Cl?/BCl?混合气体(比例3:1),RF功率150W,腔压50Torr,刻蚀深度300n……干法刻蚀氮化镓成功。
九月七日上午,硅脂散热封装,引出高压测试线……至此,世界上第一组共五枚碳化硅材质肖特基二极管诞生。
没有庆祝……
团队每个人都知道时间紧迫,东方曲九月十五日就要返回东大,必须争分夺秒!
对肖恩二极管开始基础测试的同时,同样碳化硅材质,采用联合扩散法制作的PN逆变器,开始蒸镀电极。
另一组,正在给第一组最后一枚氮化镓微波检波二极管开始做玻璃气密封装……
七号下午,碳化硅芯片部分基础测定完成。
搭建双脉冲测试电路,测量导通电阻Rds(on),导通大于100Ω·2;
用100MHz示波器捕捉开关波形,开关速度>100ns;
对栅极施加+15V偏压1小时,阈值电压Vth漂移<0.5V;
-55°C(干冰)至+125°C(油浴)循环10次,电阻漂移正常;
150°C下施加1000V监测漏电流五小时正常,继续监测中……